X熒光光譜儀是根據(jù)X射線熒光光譜的分析方法配置的多通道X射線熒光光譜儀，它能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量。 X射線熒光(XRF)能夠測定周期表中多達83個元素所組成的各種形式和性質的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質物料等。
凡是能和x射線發(fā)生激烈作用的樣品都不能分析，而且要分析的樣品必須是在真空(4~5pa)環(huán)境下才能測定。 X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構成。
X射線管通過產生入射X射線(一次X射線)，來激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。
然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線。
因此，只要測出熒光X射線的波長或者能量，就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外，熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。
近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得 多也 廣泛，是一種中型、經濟 、高性能的波長色散X射線光譜儀。
